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光电行业等离子清洗机定期保养指南
发布者:等离子清洗机   发布时间:2022/2/28 14:47:04   浏览次数:460

    等离子清洗在光电行业作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用,与传统超声波清洗、UV清洗方法相比,等离子清洗具有以下优点,处理温度低,处理过程无污染.

光电行业等离子清洗机.jpg

    光电行业等离子清洗机在使用过程中,腔体内出现的一些残留物和氧化层,在前期发展阶段,该薄层并不影响设备的运行或成品。但是经过持续的运转后,发现了清洗效果不稳定,能察觉到微小改变,所以在使用一段时间之后是需要将托板架与电极进行清洗翻新,同时设备出现的故障也直接体现设备的保养的程度。


周期维护保养内容方法
每日腔体门及门密封圈清洁无尘纸、酒精
电极板清洁无尘纸、酒精
真空视窗玻璃清洁无尘纸、酒精
检查气体管道有无漏气酒精、目视
每周真空管道连接紧固扳手
电源控线连接检查及紧固螺丝刀
气体管道检查及连接头紧固扳手
每月射频输出功率检查功率检测仪
真空度检查真空检查仪
气体流量检测气体流量计、万用表
半年门密封圈更换/
管道密封圈更换/
每年真空泵冷却液更换/
真空泵保养建议由厂家进行专业保养


    光电行业等离子清洗机的保养应从以上这些方面进行,根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年,在实际生产过程中,影响等离子清洗效果的不仅仅是工艺技术,还有设备的稳定性,比如工艺气体的微小泄露、电极托板架的烃基残留物、腔体内其他管道的氧化程度以及设备本身不同程度的故障这些都是在生产制造过程中直接对生产产生影响。

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